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无尘室的适用范围很广,只要是洁净要求比较高的,都会用到,比如,LCD 组装,或是一些表面清洁等。无尘室根据洁净程度不同分很多等级，目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为 1000 级和 100 级的居多数字越小,洁净等级越高 1000 级的概念是:每立方英尺内,大于等于 0.5 的灰尘颗粒不能超过 1000 颗； 100 级的概念是:每立方英尺内,大于等于 0.3 的灰尘颗粒不能超过 100 颗，注意了,每个等级所管控的颗粒大小也不一样.
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】 ，可将无尘室分为六级。 分别是 1 级、10 级、100 级、1000 级、10000 级、100000 级，如果无尘室的等级只用尘粒 数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是 0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来 表示。例如：10 级在 0.2um（尘粒尺寸在 0.2um 或更大下，密度不大于 75 颗/立方英尺） ，1 级在 0.1um（尘粒尺寸在 0.1um 或更大下，密度不大于 35 颗/立方英尺） 。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于 1000 级。
无尘室定义是将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。 此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。 无尘室一般分为电子、精密工业用 IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用 BiologicalCleanRoo （BCR）。
联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格（U.S.Federalstandard209b） ，BCR 则多参考明定生物粒子限制值的 NASA 规格（美国航空 署 5340.2 规格） 。 其 Fed.std 清洁度的表示法为：1ft3 空气中，含有多少个 0.5µm（micro）以上的微粒子，及 称为[等级○○]。例如：空气中含有 10 个 0.5 以下时，表示为“等级 10”。
自然界大气中通常含有 300000~30000000 个微粒子。在 JIS 标准下，无尘室清洁度，共分为 8 个等级 一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级 1、2•••8，8 阶段。在 1 立方公尺的空气中，粒 径 0.1 微米的灰尘若是在 10 个以下时为 1；百个以下是 100=102 是等级 2；千个以下时是 1000=103 等级 3，一次类推。 21 世界，最尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。 商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无 尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。
所谓的无尘室是一个人造的环境， 里面含有的粒子远低于一般的环境， 随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸小于 0.1 微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键
尺寸 持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属 尘粒落到金属导线时， 就可能会使金属导线形成短路。 又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在 金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。
防静电事业部：13725178029
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