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以芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间为代表的电子工业工程洁净室（区）除了对微粒的严格控制外，还对温湿度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更严格，消除静电对生产产品的影响，从而使环境达到电子产品在洁净环境的生产工艺要求。
洁净室（区）的温、湿度应根据生产工艺要求确定当生产工艺无具体要求时，其温度可按20~26℃，相对湿度30%~70%采用。人员净化用室和生活用室的温度可按16~28℃采用。根据与国际ISO标注接轨的中国国家标准GB-50073，这类洁净室（区）的洁净度等级1-9级，其中1-5级，气流流型为单向流或混合流，风速0.2-0.45m/s；6级气流流型为非单向流，换气次数50-60次/h；7级气流流型为非单向流，换气次数15-25次/h；8-9级气流流型为非单向流，换气次数10-15次/h。
根据现行规范，电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)
1.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
2.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
3.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：
4.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40㎡。
无尘室的送风量，应取下面三项最大值：
●保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量：
●根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量：
●向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量：
这类洁净室（区）有电气、电子生产洁净室、电子计算机洁净室、半导体工业洁净室等等。
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